±Û¾´ÀÌ
À̸ÞÀÏ
Á¦¸ñ
³»¿ë
ÇÏÀÌ NA EUÀϺ»±¸¸Å´ëÇàV Æä¾î¾ÆÅ©³×¡¦±âÁ¸º¸´Ù °°Àº ¼º´É ¹ÝµµÃ¼ 2.9¹è »ý»ê ÀϺ»±¸¸Å´ëÇà°¡´É ÀÎÅÚ ·Î°í ·ÎÀÌ»þ·ÐÆĽºÅÍ ¿¬ÇÕ´º½º ÀÚ·á»çÁø. µÎÅë¾àÀçÆǸŠ¹× DB ±ÝÁö »÷ÇÁ¶õ½Ã½ºÄÚ ¿¬ÇÕ´º½º ±èÅ°í°íµ·Å°µ·Å°È£Å×Á¾ ƯÆÄ¿ø ¹Ì±¹ ¹ÝÀϺ»µµÃ¼ ±â¾÷ ÀÎÅÚÀÌ ³×´ú¶õµåÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀϺ» ±â¾÷ »çÀÌÆ®ASMLÀÇ Ã·´Ü Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÏ¸ç »ï¼ºÀüÀÚ TSMC¿Í °æÀïÀ» °¡¼ÓÈÇÏ°í ÀÖ´Ù. 19ÀÏ ÇöÁö½Ã°£ ·ÎÀÌÅÍ Åë½Å µî¿¡ µû¸£¸é ÀÎÅÚÀº Áö³ 18ÀÏ ¹Ì±¹ ¿À¸®°ÇÁÖ ¿¬±¸°³¹ß R D ¼¾ÅÍ¿¡ ASMLÀÇ Â÷¼¼´ë ³ëÀϺ»±¤Àåºñ High NA EUV ¸¦ ¼³µ¿ÀüÆĽºÄ¡Çß´Ù°í ±¸¸Å´ëÇà¹àÄ«º£ÁøÇû´Ù. ±âÁ¸ ÀåºñÀÇ ¾÷±×·¹ÀÌµå ¹öÀüÀÎ ÇÏÀÌ NA EUV ´Â ¿ÀŸÀÌ»ê°í°íµ¿Å°¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ´õ ¼¼¹ÐÇÏ°Ô ±×¸± ¼ö ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë Àåºñ´Ù. À̸¦ Åë¿ÀŸÀ§»êÇØ µ¿ÀÏÇÑ µ·Å°È£Å׸éÀûÀÇ ¿þÀÌÆÛ¿¡¼ °°Àº ¼º´ÉÀÇ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ±âÁ¸ Àåºñº¸´Ù 2.9¹è ´õ ¸¸µé ¼ö»ý¸®Åë¾à ÀÖ´Ù. ÀÌ Àåºñ´Â 2nmÀϺ» ³ª³ë¹ÌÅÍ¡¤10¾ïºÐÀÇ 1m
ÀÌ
ºñ¹Ð¹øÈ£